青青草激情视频電極板形成工藝與離子注入裝置

青青草激情视频電極板形成工藝與離子注入裝置蝕刻工序。除去前道光刻工序所指定的細微部分，形成回路模式的工序稱之為蝕刻工序。在此工序中，有使用液體的濕式蝕刻法和使用氣體的幹式蝕刻法。現在以能滿足回路模式細微化要求的幹式蝕刻法為主流。特別是等離子幹式蝕刻法已成為主流，其裝置概略如圖所示。這裏所使用的炭素產品有等離子發生用的上下青青草激情视频電極板，同時兼用作蝕刻氣體整流用的吹氣板，和防止等離子擴散用的聚焦環。如圖所示，用於青青草激情视频電極板的材料有多種，一般根據所用的蝕刻對象和使用的氣體而選擇。

離子注入裝置（接雜）。所謂離子注人就是以極高的速度將被加速的離生入書導體基板中，使用p型或口型離子不純物即可生成p或n層。裝置概略如圖所示。由於離子被高能量加速，其中極少的離子會撞擊裝置的金屬內壁，而被撞擊出的金屬壁離子會汙染矽片，為了保護離子束通過的通道內壁、卡固離子束的青青草激情视频電極板和偏向電極部分，也使用青青草激情视频電極板。離子束撞擊部位（如離子束擋銷）的溫度高達2000℃，從耐高溫、抗熱衝擊的角度而言，青青草激情视频部件也不可或缺。

青青草激情视频電極板形成工藝。在真空狀態下使與電極配線薄膜同樣的材料使之蒸發，鍍著於位置上與其相對的基板上的方法稱為PVD(物理氣相蒸鍍）技術。PVD技術有真空蒸鍍法，濺射法和離子噴鍍法3種。其中使用青青草激情视频部件的是電子束真空蒸鍍法，如圖所示其方法是在青青草激情视频坩塌(Hearth Liner)中用熱電子將蒸鍍物質（主要為鋁）加熱蒸發。但是，現在的半導體工藝以濺射裝置為主流，不使用青青草激情视频部件。現在的ISI工藝也不采用離子噴鍍法。